 |
1´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ |
Áõ±â ÀÌÁ§ÅͽýºÅÛÀÇ ±âº»ÇüÀ¸·Î, ´ë±â¾ÐÀ¸·Î |
ºÎÅÍ ÃÖ´ë 75Torr±îÁö Áø°øÇü¼ºÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. |
¹èÃâ¾Ð·ÂÀº ´ë±â¾Ð º¸´Ù ¾à°£ ³ôÀ¸¸ç, |
ÀÌÁ§ÅͷκÎÅ͹èÃâµÇ´Â Áõ±âÀÇ Ã³¸®¹æ¹ýÀ¸·Î´Â, |
¨ç ÀÌÁ§ÅÍ ÈÄ´Ü¿¡ ¼ÒÀ½±â¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ¿© ´ë±â·Î ¹æÃâ |
ÇÏ´Â ¹æ¹ý |
¨è After condenser¸¦ ¼³Ä¡ ÇÏ¿© ÀÀÃà½ÃŰ´Â
¹æ¹ý |
¨é ÀÌÁ§ÅÍÈÄ´Ü ¹è°üÀ» Hot-well¿¡ »ðÀÔÇÏ´Â ¹æ¹ý |
µîÀÌ ÀÖ´Ù. |
|
|
 |
2´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ |
1´Ü ÀÌÁ§Åͷδ ¼ÒÁ¤ÀÇ ¾Ð·Â±îÁö Áø°øÇü¼ºÀÌ ºÒ°¡ |
´ÉÇϰųª ±¸µ¿Áõ±âÀÇ ¼Ò¸ð·®ÀÌ °úµµÇÏ°Ô ¸¹¾ÆÁö´Â |
°æ¿ì¿¡´Â 2´Ü Áõ±âÀÌÁ§ÅͽýºÅÛÀ» ä¿ëÇϸç, ÀÏ¹Ý |
ÀûÀ¸·Î Áß°£¿¡ ÀÀÃà±â¸¦ µÎ´Â Çü½Ä°ú ÈíÀÔÀ¯·®Àº |
ÀÛ°í °íÁø°øÀÌ ÇÊ¿äÇÑ °÷¿¡´Â 2°³ÀÇ ÀÌÁ§Å͸¦ Á÷°á |
ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇÑ´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¹ßÀü¼³ºñÀÇ º¹ |
¼ö±â¿ë Áø°øÀ¯Áö, ¼®À¯Á¤Á¦ ½Ã½ºÅÛÀÇ °¨¾ÐÁõ·ù ¼³ |
ºñ µîÀÇ Áø°øÀåÄ¡·Î ÀÌ¿ëµÈ´Ù |
|
|
|
|
|
 |
3´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ |
3´Ü ÀÌÁ§ÅͽýºÅÛÀº»ç¿ë¾Ð·ÂÀÌ 20Torr ÀÌÇÏ¿¡ ÁÖ |
·Î ÀÌ¿ëµÇ°í, ÈíÀÔ °¡½ºÀÇ »óÅ (Air, Water vapor. |
Process vaporÀÇ ¸ôºÐÀ²)¿¡ µû¶ó¼ ¼³°èÀÚÀÇ
˦ |
Å뼺ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. |
3´Ü ÀÌÁ§ÅͽýºÅÛÀÇ Àû¿ëµÇ´Â °÷À¸·Î´Â¼Ò±Ýµî°ú °° |
ÀÌ °¨¾Ð Áõ¹ß °áÁ¤È °øÁ¤ÀÌ ÇÊ¿äÇѰ÷, ½Ä¿ëÀ¯ Á¦Á¶ |
°øÁ¤ÁßÀÇ Áø°øÁõ¹ß¿¡ ÀÇÇÑ ¼öºÐ Áõ¹ß,ÈÇÐÇ÷£Æ®ÀÇ |
Áõ·ù°øÁ¤, °¢Á¾ Ç÷£Æ®ÀÇ Áø°ø³Ã°¢ Á¦Á¶¿ë Áø°øÀå |
Ä¡·Î »ç¿ëµÈ´Ù. |
|
|
 |
4´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ |
2´ÜÀÇ ºÎ½ºÅÍ¿Í 2´ÜÀÇ Áõ±â ÀÌÁ§ÅÍ·Î ±¸¼ºµÇ¸ç |
0.5Torr±îÁö Áø°øÇü¼ºÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. Á¦Æ® ³ëÁñ¿¡¼ |
ºÐ»çµÇ´Â Áõ±â°¡ 0¢ªC ÀÌÇÏ·Î µÇ¹Ç·Î, Á¦Æ® ³ëÁñ ¹× |
1´Ü ºÎ½ºÅÍÀÇ ÀÔ±¸ ºÎºÐ¿¡¼´Â µ¿°á¿¡ ´ëÇÑ ´ëÃ¥ÀÌ |
ÇÊ¿äÇϸç, Àü±â°¡¿ ¶Ç´Â Áõ±â¿¡ ÀÇÇÏ¿© °¡¿ÇÏ´Â |
¹æ¹ýÀÌ Àû¿ëµÈ´Ù. ÁÖ·Î Å»ÃëÀåÄ¡³ª ÈÇÐÁ¦Ç°ÀÇ ¹Ú |
¸· Áø°øÁõ¹ßÀ» À§ÇÑ Áø°øÀåÄ¡·Î ÀÌ¿ëµÈ´Ù. |
|
|
|
|
|
|
 |
5´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ |
»ç¿ë¾Ð·ÂÀÌ 1.0 ~ 0.1 Torr¿¡¼ ÀÌ¿ëµÇ¸ç, Ãʱâ
¼³ |
Ä¡ºñ ¹× ¿îÀü °æºñ¸¦ °í·ÁÇÏ¿© 3´Ü ¶Ç´Â 2´ÜÀÇ ºÎ½º |
Å͸¦ Àû¿ëÇÑ ÀÌÁ§ÅÍ ½Ã½ºÅÛÀ» ¼±Á¤ÇÑ´Ù. ¼¶À¯°ø¾÷ |
ÀÇ Æú¸®¿¡½ºÅÍ ÁßÇÕ ¹ÝÀÀ°øÁ¤, Á¦Ã¶ Á¦Á¶°øÁ¤ÀÇ Å» |
°¡½ºÀåÄ¡(RH-OB)ÀÇ De-gassing unit·Î »ç¿ëµÈ´Ù |
|
|
 |
6´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ |
4´Ü ºÎ½ºÅÍ¿Í 2´Ü ÀÌÁ§ÅÍ·Î ±¸¼ºµÇ¸ç ÃÖ´ë Áø°ø¾Ð |
·ÂÀº 0.001Torr Á¤µµÀ̸ç, °¢Á¾ ¿ìÁÖ °ü·Ã »ê¾÷ÀÇ
|
¼º´É½ÃÇè ¼³ºñ¿¡ Àû¿ëµÈ´Ù. |
|
|
|
|
|
|
|
|