¢ºEIECTORS
±¸Á¶ / • ºÐ·ù / • ÀÀ¿ë / • ÀÀÃà±â / • ¼º´É
 ¿¡Á§Å¸ : ÀÀ¿ë
1´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ
Áõ±â ÀÌÁ§ÅͽýºÅÛÀÇ ±âº»ÇüÀ¸·Î, ´ë±â¾ÐÀ¸·Î
ºÎÅÍ ÃÖ´ë 75Torr±îÁö Áø°øÇü¼ºÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
¹èÃâ¾Ð·ÂÀº ´ë±â¾Ð º¸´Ù ¾à°£ ³ôÀ¸¸ç,
ÀÌÁ§ÅͷκÎÅ͹èÃâµÇ´Â Áõ±âÀÇ Ã³¸®¹æ¹ýÀ¸·Î´Â,
¨ç ÀÌÁ§ÅÍ ÈÄ´Ü¿¡ ¼ÒÀ½±â¸¦ ¼³Ä¡ÇÏ¿© ´ë±â·Î ¹æÃâ
    ÇÏ´Â ¹æ¹ý
¨è After condenser¸¦ ¼³Ä¡ ÇÏ¿© ÀÀÃà½ÃŰ´Â ¹æ¹ý
¨é ÀÌÁ§ÅÍÈÄ´Ü ¹è°üÀ» Hot-well¿¡ »ðÀÔÇÏ´Â ¹æ¹ý
    µîÀÌ ÀÖ´Ù.
2´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ
1´Ü ÀÌÁ§Åͷδ ¼ÒÁ¤ÀÇ ¾Ð·Â±îÁö Áø°øÇü¼ºÀÌ ºÒ°¡
´ÉÇϰųª ±¸µ¿Áõ±âÀÇ ¼Ò¸ð·®ÀÌ °úµµÇÏ°Ô ¸¹¾ÆÁö´Â
°æ¿ì¿¡´Â 2´Ü Áõ±âÀÌÁ§ÅͽýºÅÛÀ» ä¿ëÇϸç, ÀϹÝ
ÀûÀ¸·Î Áß°£¿¡ ÀÀÃà±â¸¦ µÎ´Â Çü½Ä°ú ÈíÀÔÀ¯·®Àº
ÀÛ°í °íÁø°øÀÌ ÇÊ¿äÇÑ °÷¿¡´Â 2°³ÀÇ ÀÌÁ§Å͸¦ Á÷°á
ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇÑ´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¹ßÀü¼³ºñÀÇ º¹
¼ö±â¿ë Áø°øÀ¯Áö, ¼®À¯Á¤Á¦ ½Ã½ºÅÛÀÇ °¨¾ÐÁõ·ù ¼³
ºñ µîÀÇ Áø°øÀåÄ¡·Î ÀÌ¿ëµÈ´Ù
 
 
3´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ
3´Ü ÀÌÁ§ÅͽýºÅÛÀº»ç¿ë¾Ð·ÂÀÌ 20Torr ÀÌÇÏ¿¡ ÁÖ
·Î ÀÌ¿ëµÇ°í, ÈíÀÔ °¡½ºÀÇ »óÅ (Air, Water vapor.
Process vaporÀÇ ¸ôºÐÀ²)¿¡ µû¶ó¼­ ¼³°èÀÚÀÇ À¶
Å뼺ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
3´Ü ÀÌÁ§ÅͽýºÅÛÀÇ Àû¿ëµÇ´Â °÷À¸·Î´Â¼Ò±Ýµî°ú °°
ÀÌ °¨¾Ð Áõ¹ß °áÁ¤È­ °øÁ¤ÀÌ ÇÊ¿äÇѰ÷, ½Ä¿ëÀ¯ Á¦Á¶
°øÁ¤ÁßÀÇ Áø°øÁõ¹ß¿¡ ÀÇÇÑ ¼öºÐ Áõ¹ß,È­ÇÐÇ÷£Æ®ÀÇ
Áõ·ù°øÁ¤, °¢Á¾ Ç÷£Æ®ÀÇ Áø°ø³Ã°¢ Á¦Á¶¿ë Áø°øÀå
Ä¡·Î »ç¿ëµÈ´Ù.
4´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ
2´ÜÀÇ ºÎ½ºÅÍ¿Í 2´ÜÀÇ Áõ±â ÀÌÁ§ÅÍ·Î ±¸¼ºµÇ¸ç
0.5Torr±îÁö Áø°øÇü¼ºÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. Á¦Æ® ³ëÁñ¿¡¼­
ºÐ»çµÇ´Â Áõ±â°¡ 0¢ªC ÀÌÇÏ·Î µÇ¹Ç·Î, Á¦Æ® ³ëÁñ ¹×
1´Ü ºÎ½ºÅÍÀÇ ÀÔ±¸ ºÎºÐ¿¡¼­´Â µ¿°á¿¡ ´ëÇÑ ´ëÃ¥ÀÌ
ÇÊ¿äÇϸç, Àü±â°¡¿­ ¶Ç´Â Áõ±â¿¡ ÀÇÇÏ¿© °¡¿­ÇÏ´Â
¹æ¹ýÀÌ Àû¿ëµÈ´Ù. ÁÖ·Î Å»ÃëÀåÄ¡³ª È­ÇÐÁ¦Ç°ÀÇ ¹Ú
¸· Áø°øÁõ¹ßÀ» À§ÇÑ Áø°øÀåÄ¡·Î ÀÌ¿ëµÈ´Ù.
 
 
 
5´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ
»ç¿ë¾Ð·ÂÀÌ 1.0 ~ 0.1 Torr¿¡¼­ ÀÌ¿ëµÇ¸ç, Ãʱ⠼³
Ä¡ºñ ¹× ¿îÀü °æºñ¸¦ °í·ÁÇÏ¿© 3´Ü ¶Ç´Â 2´ÜÀÇ ºÎ½º
Å͸¦ Àû¿ëÇÑ ÀÌÁ§ÅÍ ½Ã½ºÅÛÀ» ¼±Á¤ÇÑ´Ù. ¼¶À¯°ø¾÷
ÀÇ Æú¸®¿¡½ºÅÍ ÁßÇÕ ¹ÝÀÀ°øÁ¤, Á¦Ã¶ Á¦Á¶°øÁ¤ÀÇ Å»
°¡½ºÀåÄ¡(RH-OB)ÀÇ De-gassing unit·Î »ç¿ëµÈ´Ù
6´ÜÁõ±â ÀÌÁ§ÅÍ
4´Ü ºÎ½ºÅÍ¿Í 2´Ü ÀÌÁ§ÅÍ·Î ±¸¼ºµÇ¸ç ÃÖ´ë Áø°ø¾Ð
·ÂÀº 0.001Torr Á¤µµÀ̸ç, °¢Á¾ ¿ìÁÖ °ü·Ã »ê¾÷ÀÇ
¼º´É½ÃÇè ¼³ºñ¿¡ Àû¿ëµÈ´Ù.